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トコトンやさしい 薄膜の本 麻蒔立男

 メッキからCVDまで最先端技術を支える薄膜技術についてわかりやすくまとめた本。半導体工場などでは、とてつもなく精密なことが行われていることが分かった。
 使用されているガスも聞いたこともない成分が多くて、それらを扱うための独自技術は、先鋭的に発達しているように思われる。0から新規参入できる会社とか、あるのかなぁ。

 著者が「真空の本」も書いているとおり真空技術との縁も深くて、装置系統の図が興味深かった。
 また、ひとつの方法の繰り返しにこだわらず、機械的に研磨してみたり、いろいろな方法を組み合わせて求める性能を達成しようと日々試みられていることが分かった。

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